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中晶科技 新技術(shù)新工藝助力企業(yè)增產(chǎn)增效
Date：2021/6/10 瀏覽人數(shù)：1573
中晶科技 新技術(shù)新工藝助力企業(yè)增產(chǎn)增效
近日，公司生產(chǎn)線完成蝕刻添加CHF3新工藝PSS產(chǎn)品的全面量產(chǎn)，這標(biāo)志著蝕刻添加CHF3工藝這一行業(yè)全新技術(shù)，經(jīng)過(guò)近2年的研究取得圓滿成功，這是公司近年來(lái)取得的又一項(xiàng)新技術(shù)、新工藝項(xiàng)目。
蝕刻添加CHF3工藝是指在PSS生產(chǎn)的蝕刻過(guò)程中適當(dāng)加入CHF3氣體，并配以科學(xué)調(diào)整電極功率、三氯化硼流量、設(shè)備腔體溫度等參數(shù)，實(shí)現(xiàn)提升蝕刻選擇比，縮短刻蝕工藝時(shí)間，提高產(chǎn)量，節(jié)約光刻膠及三氯化硼用量。經(jīng)初步統(tǒng)計(jì)，CHF3新工藝導(dǎo)入后蝕刻產(chǎn)能較以往提升10%以上，預(yù)估2021年此項(xiàng)技術(shù)創(chuàng)新將新增利潤(rùn)超300萬(wàn)元。
近年來(lái)，中晶科技始終將技術(shù)創(chuàng)新作為推動(dòng)提質(zhì)增效的重要抓手和提升核心競(jìng)爭(zhēng)力的重要途徑，緊盯行業(yè)技術(shù)趨勢(shì)，不斷加大技術(shù)研發(fā)力度，多項(xiàng)新技術(shù)、新工藝的實(shí)施，大力推動(dòng)了公司生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)提質(zhì)增效、轉(zhuǎn)型升級(jí)。