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福建中晶科技有限公司

關于Nikon光刻機維修調(diào)試項目比選邀請公告

一、項目名稱

福建中晶科技有限公司Nikon光刻機維修調(diào)試項目

二、服務要求說明

見附件

三、投標有關事項及要求

1.必須響應驗收技術要求；

2.當有下列情況之一發(fā)生時，將依廢標處理：

2.1報價函有涂改的；

2.2修改原報價單報價明細的；

2.3投標人不足三家的；

2.4本次邀標報價最高限價為人民幣18萬元（含國家規(guī)定的增值稅稅費）。高于最高限價的報價為無效報價，作廢標處理。

四、報價截止日期

報價截止時間：即日起至2022年11月21日下午17:00（以收到報價函時間為準）

五、報名方式、郵寄地址

參選材料須在規(guī)定的投標截止期限前快遞或直接密封送達至我司。

郵寄地址：龍巖市永定區(qū)高陂鎮(zhèn)永定工業(yè)園區(qū)福建中晶科技有限公司

聯(lián)系人：吳女士

聯(lián)系電話：19906970336  （0597-3011820）

六、參選材料

1.營業(yè)執(zhí)照復印件（加蓋公章）；

2.法人身份證復印件（加蓋公章）；

3.報價函（加蓋公章）；

4.服務內(nèi)容與驗收技術要求（加蓋公章）。

七、定標方式

本次比選活動，采用最低價中標方式，即總報價最低單位為第一中標人，相同報價時優(yōu)先選擇服務過本企業(yè)項目的投標人。

八、注意事項

1.參選人在參與本次比選過程中須嚴格遵守國家有關法律法規(guī)、政策及廉潔從業(yè)的各項規(guī)定。

2.中標人需在收到中標通知書3個工作日內(nèi)與招標方簽訂合同。

3.業(yè)務聯(lián)系人：鐘女士    

聯(lián)系電話：13600999797 

附件 

服務內(nèi)容與驗收技術要求

一、設備編號、型號、數(shù)量

二、設備調(diào)試地點：

福建中晶科技有限公司廠內(nèi)。

三、交貨（工程）期限：

乙方向甲方承諾有技術、條件、人員及能力對甲方一臺Nikon i8光刻機進行維修調(diào)試。在合同生效后乙方需在20天內(nèi)將甲方現(xiàn)場一臺i8光刻機維修調(diào)試完成并交付生產(chǎn)使用。

四、驗收技術要求

1、硬件測試

2、招標人提供條件：

本次維修調(diào)試投標人包工包料，維修期間設備所需更換的所有配件，由投標人負責購買及更換，招標人只提供基本的水電等基本設施。

3、設備質量要求及驗收指標：

投標人的調(diào)試遵循設備原廠的設備運行原理，在調(diào)試后應恢復到最好性能和精度，滿足招標人大規(guī)模、穩(wěn)定光刻生產(chǎn)的需求；設備的硬件及工藝問題，投標人負責維修和調(diào)試。驗收的方法為必須達到招標人能大規(guī)模生產(chǎn)PSS工藝產(chǎn)品所需的工藝技術要求，選用Φ100.8mm標準藍寶石片進行測試。投影光刻專用i線光刻膠，其中藍寶石TTV≤5,涂膠膜厚中心值在2.6±0.1μm范圍內(nèi)，膠厚均勻性≤2.0%。

驗收指標

1、曝光場尺寸8.5×8.5mm,以我司AOI為檢測標準做出的PSS光刻產(chǎn)品產(chǎn)出無格線或明暗場、無拼接錯位；

2、曝光場尺寸8.5×8.5mm，產(chǎn)能≥525片/天。

3、在設備量產(chǎn)操作的情況下連續(xù)800片內(nèi)無任何非人為異常故障與失誤。

其他工藝條件：按i線光刻工藝及相關投影工藝而定。測定方法按行業(yè)通行的電鏡法或雙方認可的其他方法進行。